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睦祥环保针对半导体超洁净制造-AMC控制的解决方案

来源: | 发布日期:2022-03-07

        随着半导体超洁净制造的高速发展, 芯片厂主要是光刻、封装这块,可能存在的污染也包括空气和水两部分,相对来说,光刻这块水污染的可能性更大一些,而封装这块,由于存在电镀,主要以空气、水污染为主。2019年国家卫生健康委员会发布了强制性国家职业卫生标准 《国家工作场所有害因素职业接触限值 》,对劳动者在职业活动中通过呼吸道、皮肤黏膜等与职业性有害因素之间接触的过程有了新的规定。“职业接触限值(Occupational Exposure Limit, OEL)是指职业性有害因素的接触限制量值,指劳动者在职业活动过程中长期反复接触该有害因素后,对机体不引起急性或慢性健康影响的容许接触水平。

睦祥环保人针对半导体超洁净制造-AMC控制,以技术为先导,以满足客户需求为核心,成功联合美国滤料行业的合作伙伴引入了针对性的解决方案。 通过对半导体制造产生的废气恶臭治理 ,使劳动者在职业活动过程中得到健康保护,从而实现企业更全面的环境治理目标。


2015年起ITRS明确 AMC 是影响晶圆制造良率的重要因素,同时结合ITRS(国际半导体技术路线图),不难发现,30nm以下晶圆制造工艺受 AMC 影响非常大。

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半导体洁净室AMC污染来源

室外环境污染

大气污染(PM10SO2NO2TVOC、氯化氢、氟化物、氯、氨及硫化氢 )

工业排放污染(包括邻近厂房的排放:氮氧化物、二氧化硫、氟化物、氯化氢、氯气和PM

污水站恶臭(氨, 硫化氢等)


室内环境污染

工艺气态污染(主要AMC处理对象)

工艺材料污染

建筑材料污染



1.1

1.2



1.3

1.4

1.5

睦祥环保是国内专业的废气恶臭治理系统服务商,国家高新技术企业。历经十六年成长和发展,依托国家生态环境政策的利好,现已成为国内废气恶臭治理细分领域的专业企业。

针对半导体超洁净制造-AMC控制,睦祥环保的解决方案全流程服务包括如下:

前期评估:行业与工艺分析,污染物特征,污染物数据

系统方案:标准,污染物数据分析,处理方法选择,预算

工程设计:优化滤料配置,装置选择与设计,控制与监控

工程实施:工程因素,安全合规,安装与调试,滤料装卸等

监测与评估:环境监控评估,设备运行状态,滤料寿命分析

持续服务:滤料配置优化,滤料更换,废料处理

 










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